All-in-One型
イオン注入装置 PRODUCTS 製品情報

SAionは、光学系、搬送系および制御系のすべてを刷新した300mm対応イオン注入装置です。
従来の高電流装置と中電流装置を統合する広範なエネルギー・ドーズ範囲を持ち、半導体製造における多くの注入工程が本機にて処理が可能になりました。特に、ほぼすべての運用範囲でビーム電流を２倍以上（中電流装置比）に増強したことで大幅な生産性向上を達成しています。

品質面においては、新設計の搬送系によって500枚/hのメカニカルスループットを達成しつつ、半導体製造上の重要な歩留り低下要因であるパーティクル（微細粒子）の抑制に成功し、ウエハ面と異なる位置での計測値で代用してきたビーム発散角や平行度などの重要なビーム品質情報に関して、イオン注入装置として初めて製品ウエハ面上で計測し、制御することが可能になりました。

SAionを特徴付けるこれらの性能・機能は、現世代の主要工程である300mmウエハだけではなく、将来の450mmウエハにも展開可能な設計となっており、将来のスムーズなプロセス移行を可能としています。

高い生産性および注入品質、広い運用柔軟性を持って、さらに将来へのプロセス移行も極めて容易にし得るコンセプトを持った第６世代のイオン注入装置がこのSAionです。