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住友重機械イオンテクノロジーでは、極めて信頼性の高い注入システムを有する「バッチ式高電流装置」に加え、独自のビームコントロール技術によって、注入ダメージと注入分布を制御する「枚葉式高電流装置」をラインナップして、高精度かつ高品質で、生産性の高いイオン注入技術を提供しています。

住友重機械イオンテクノロジーでは、広範囲なパラメータを精度良く制御可能にする、使いやすく信頼性の高い中電流イオン注入装置を提供しています。左右対称なイオンビーム平行化光学系により、ビーム走査方向（水平方向）の優れたビーム均質性と高精度なビームの平行度を確保しています。

住友重機械イオンテクノロジーでは、多段ＲＦリナック加速方式を採用した高エネルギーイオン注入装置を提供しています。さらに、従来の高エネルギー装置がカバーするエネルギーレンジを凌駕する超高エネルギー領域での注入を可能とし、従来にない精密さを誇る注入も実現させた枚葉式超高エネルギー装置の提供を開始しました。

住友重機械イオンテクノロジーでは、従来の高電流装置と中電流装置を統合する広範なエネルギー・ドーズ範囲を持ち、半導体製造における多くの注入工程が本機にて処理を可能にしたAll-in-One型イオン注入装置を提供しています。ほぼすべての運用範囲でビーム電流を２倍以上（中電流装置比）に増強し大幅な生産性向上を達成しています。