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HISTORY / ABOUT 沿革

1983
  • 4月1日住友重機械工業(株)と米国イートン社との50/50の合弁会社として設立
  • 高電流イオン注入装置NV-10生産開始
1984
  • 高電流イオン注入装置NV-10国産化完成
  • 世界初の150mmウェハ対応高電流イオン注入装置を出荷開始
1987
  • 大径シングルウェハディスクエンドステーション(SD:Super Disc)を搭載した
    高電流イオン注入装置NV-10SDを国産開発、出荷開始
1989
  • ロードロック式高スループットエンドステーション(GSD:Gyro Super Disc)を搭載した
    高電流イオン注入装置NV‐GSD-80を国産開発、出荷開始
1991
  • ビーム電流増強、 200mmウェハにおけるスループット向上をはかった
    高電流イオン注入装置NV-GSD-Aを出荷開始
1994
  • イートン社との共同開発による
    量産対応の高エネルギーイオン注入装置NV-GSD-HEを出荷開始、世界標準機となる
  • 新開発ビームラインを採用し、高スループットとコンパクト化を実現した
    高電流イオン注入装置NV-GSD III-90を出荷開始
1995
  • 愛媛事業所F棟ならびに新クリーンルーム竣工
1996
  • 愛媛事業所G棟竣工、生産能力倍増
1997
  • 低エネルギービーム電流強化型高電流イオン注入装置NV-GSD III-90Eを出荷開始
  • 300mmウェハ対応高電流イオン注入装置NV-GSD-HC3を完成
  • イートン社製低温ポリシリコンTFT-LCD用イオン注入装置ORion NV-6072輸入販売開始
1998
  • ビームラインを一新した1keVクラス低エネルギー高電流イオン注入装置NV-GSDⅢ-LEを出荷開始
  • 300mmウェハ対応高エネルギーイオン注入装置NV-GSD-HE3を出荷開始
1999
  • 株式会社センスを設立し中古装置再生販売事業に進出
  • ISO9001認証取得
2000
  • イートン社が半導体製造装置事業をスピンオフ、アクセリス・テクノロジーズとなる
  • 300mmウェハ対応中電流イオン注入装置NV-MC3を出荷開始
  • 累計出荷台数500台達成
  • アクセリス社にNV-GSDⅢ-LEを技術移転、米国での生産開始
2001
  • 200eVクラス極低エネルギー高電流イオン注入装置LEXを出荷開始
  • フラットパネル用イオン注入装置ORion II NV-7392を国産開発、出荷開始
2002
  • 300mm極低エネルギーイオン高電流注入装置LEX3を出荷開始
  • ISO14001認証取得
2003
  • フラットパネル用イオン注入装置ORion II NV-6275を出荷開始
2004
  • 極低エネルギーでのビーム電流をさらに増大させた
    300mmウェーハ対応高電流イオン注入装置LEX3-IIを出荷開始
2005
  • 将来の45nm迄の複数世代に対応した
    全く新しいコンセプトの枚葉式高電流イオン注入装置SHXを出荷開始
2006
  • 社名を株式会社SEN-SHI・アクセリスカンパニーに変更
2009
  • 住友重機械がアクセリス社との合弁を解消し、当社の100%親会社となり、これに伴い、株式会社SENに社名変更
2011
  • 世界最高レベルの注入品質を追求した中電流イオン注入装置 MC3-Ⅱ/GP を出荷開始
2013
  • 世界初の枚葉式超高エネルギー装置 S-UHE を出荷開始
2015
  • 社名を住友重機械イオンテクノロジー株式会社に変更
2017
  • All-in-One型イオン注入装置 SAion を出荷開始
  • S-UHEに比べ、エネルギー、ビーム電流ともアップした SS-UHE を開発
2019
  • 愛媛国際貿易センター「アイテムえひめ」内に設計開発事務所を開設
2022
  • 新工場を設立
2023
  • イメージセンサ市場向けとしてSS-UHE Ⅱを開発

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