HISTORY / ABOUT 沿革

1983

• 4月1日住友重機械工業（株）と米国イートン社との50/50の合弁会社として設立
• 高電流イオン注入装置NV-10生産開始

1984

• 高電流イオン注入装置NV-10国産化完成
• 世界初の150mmウェハ対応高電流イオン注入装置を出荷開始

1987

• 大径シングルウェハディスクエンドステーション（SD：Super Disc）を搭載した
  高電流イオン注入装置NV-10SDを国産開発、出荷開始

1989

• ロードロック式高スループットエンドステーション（GSD：Gyro Super Disc）を搭載した
  高電流イオン注入装置NV‐GSD-80を国産開発、出荷開始

1991

• ビーム電流増強、 200mmウェハにおけるスループット向上をはかった
  高電流イオン注入装置NV-GSD-Aを出荷開始

1994

• イートン社との共同開発による
  量産対応の高エネルギーイオン注入装置NV-GSD-HEを出荷開始、世界標準機となる
• 新開発ビームラインを採用し、高スループットとコンパクト化を実現した
  高電流イオン注入装置NV-GSD III-90を出荷開始

1995

• 愛媛事業所F棟ならびに新クリーンルーム竣工

1996

• 愛媛事業所G棟竣工、生産能力倍増

1997

• 低エネルギービーム電流強化型高電流イオン注入装置ＮＶ-ＧＳＤ III-９０Ｅを出荷開始
• 300mmウェハ対応高電流イオン注入装置ＮＶ-ＧＳＤ-ＨＣ３を完成
• イートン社製低温ポリシリコンTFT-LCD用イオン注入装置ＯＲｉｏｎ ＮＶ-６０７２輸入販売開始

1998

• ビームラインを一新した1keVクラス低エネルギー高電流イオン注入装置NV-GSDⅢ-LEを出荷開始
• 300mmウェハ対応高エネルギーイオン注入装置NV-GSD-HE３を出荷開始

1999

• 株式会社センスを設立し中古装置再生販売事業に進出
• ISO9001認証取得

2000

• イートン社が半導体製造装置事業をスピンオフ、アクセリス・テクノロジーズとなる
• 300mmウェハ対応中電流イオン注入装置NV-MC3を出荷開始
• 累計出荷台数500台達成
• アクセリス社にNV-GSDⅢ-LEを技術移転、米国での生産開始

2001

• 200eVクラス極低エネルギー高電流イオン注入装置LEXを出荷開始
• フラットパネル用イオン注入装置ORion II NV-7392を国産開発、出荷開始

2002

• 300mm極低エネルギーイオン高電流注入装置LEX3を出荷開始
• ISO14001認証取得

2003

• フラットパネル用イオン注入装置ORion II NV-6275を出荷開始

2004

• 極低エネルギーでのビーム電流をさらに増大させた
  300mmウェーハ対応高電流イオン注入装置LEX3-IIを出荷開始

2005

• 将来の45nm迄の複数世代に対応した
  全く新しいコンセプトの枚葉式高電流イオン注入装置SHXを出荷開始

2006

• 社名を株式会社SEN-SHI・アクセリスカンパニーに変更

2009

• 住友重機械がアクセリス社との合弁を解消し、当社の100％親会社となり、これに伴い、株式会社SENに社名変更

2011

• 世界最高レベルの注入品質を追求した中電流イオン注入装置 MC3-Ⅱ/GP を出荷開始

2013

• 世界初の枚葉式超高エネルギー装置 S-UHE を出荷開始

2015

• 社名を住友重機械イオンテクノロジー株式会社に変更

2017

• All-in-One型イオン注入装置 SAion を出荷開始
• S-UHEに比べ、エネルギー、ビーム電流ともアップした SS-UHE を開発

2019

• 愛媛国際貿易センター「アイテムえひめ」内に設計開発事務所を開設

2022

• 新工場を設立

2023

• イメージセンサ市場向けとしてSS-UHE Ⅱを開発