PRODUCTS 中古製品情報
厳しい品質基準をクリアした、
中古イオン注入装置をお届けしています
SMIT製イオン注入装置の中古品販売を行っております。旧式の部品についても、当社製作や最新化のご提案が可能です、お気軽にご相談ください。
スピードとコストミニマムを追求し、品質にも決して妥協はいたしません。新品と同等の厳しい基準をクリアし、ハイスペックを確認した製品のみをお届けしております。
在庫リスト
| モデル | ウェハサイズ | カテゴリ | エネルギー範囲 | 製造日 | 機番 | 改造アイテム(一例) | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ウェハサイズ変更 | TAIKO対応 | SiC対応 | Al注入 | H+注入 | ||||||
| NV-GSD-HE | 8 | 高エネ | 10keV~3000keV | 06/01 | L35 | 6~8inch | 6~8inch | 6~8inch | ✔ | ✔ |
| NV-GSD-HE | 8 | 高エネ | 10keV~3000keV | 01/06 | H96 | 6~8inch | 6~8inch | 6~8inch | ✔ | ✔ |
| NV-MC3 FOUP | 12 | 中電流 | 5Kev~750Kev | 00/12 | P06 | 6~12inch | 6~8inch | 6~8inch | ✔ | ✔ |
| NV-MC3 (CE/S2) | 12 | 中電流 | 5Kev~750Kev | 05/05 | P48 | 6~12inch | 6~8inch | 6~8inch | ✔ | ✔ |
| LEX3/LEX3-II/LEX3-M | 12 | 高電流 | 5keV~70keV | 06/11 | I75 | - | Asking | Asking | ✔ | |
| SHX-III/S | 12 | 高電流 | 0.2～50keV | 14/06 | AX34 | 8~12inch | Asking | Asking | ✔ | ✔ |
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高精度・高品質かつ高いビーム電流
での
極低エネルギーイオン注入を
可能にしたSHXシリーズ
SPEC
SHXⅢS(AX34）製品情報
- 機種
- SHX-Ⅲ/S
- 機番
- AX34
- 製番
- X053
- 製造日
- 2014/6
- エネルギー範囲
- 0.2keV～50keV
- ウェハサイズ
- 300mm
〈基本仕様/Basic Specification〉
- 電源､周波数
- 200V 3φ 50Hz
- カセット
- 4
- サーボ
- AC
- イオンソース
- ELS（no VAP）
- シャワータイプ
- プラズマシャワー
- ガスボックス
- BF3, PH3, O2×2
世界最高レベルの
注入品質を追求した
最新鋭・高性能の
中電流イオン注入装置MC3
SPEC
MC3CE(P48）製品情報
- 機種
- NV-MC3(CE/S2)
- 機番
- P48
- 製番
- P048
- 製造日
- 2005/05
- エネルギー範囲
- 5keV～750keV
- ウェハサイズ
- 300mm
〈基本仕様/Basic Specification〉
- 電源､周波数
- 200V 3φ 60Hz
- カセット
- 4
- サーボ
- AC
- イオンソース
- ELS（no VAP）
- シャワータイプ
- プラズマシャワー
- ガスボックス
- Ar,BF3, AsH3,PH3
高い生産性が期待できる、
高エネルギーイオン注入装置の
グローバルスタンダード
SPEC
HE(H96）製品情報
- 機種
- NV-GSD-HE
- 機番
- H96
- 製番
- H080
- 製造日
- 2001/6
- エネルギー範囲
- 10keV～3,000keV
- ウェハサイズ
- 200mm
〈基本仕様/Basic Specification〉
- 電源､周波数
- 200V 3φ 60Hz
- カセット
- 4
- サーボ
- AC
- イオンソース
- ELS（no VAP）
- シャワータイプ
- N/A
- ガスボックス
- BF3, PH3, AsH3