SERVICE サービス案内

SMIT製イオン注入装置の中古品および中古部品の買取・販売を行っております。
旧式の部品についても、当社製作や最新化のご提案が可能です。お気軽にご相談ください。
また、中古部品で製作したリビルド装置も提供しております。リビルド装置はカスタマイズできるため、お客様の装置と同じ仕様に仕上げることが可能です。
スピードとコストミニマムを追求し、品質にも決して妥協はいたしません。
厳しい品質基準をクリアした、中古イオン注入装置をお届けしています。

工場や生産ライン移転による装置の移設や、解体・廃棄もお任せください。
中古装置を専門とする当社ならではの確かな技術力で、ディコンタミから解体・梱包・搬出までトータルでお引き受けいたします。また移設に伴う性能向上のための改造も行っております。
特殊仕様にも対応可能。引渡し後のアフターフォローにもご満足いただけるよう、ソフトウェアは最新のものにバージョンアップしております。主な取扱いはSMIT製イオン注入装置ですが、それら以外の装置についてもご相談ください。

300mmウエハ対応をはじめとする、最先端の半導体デバイス製造に対応した高電流、中電流、高エネルギーイオン注入装置を取り揃え、幅広い注入サービスが可能です。

皆様の研究・開発業務にお役立ちできれば幸いです。